1 简介

真空泵是一(yi)种(zhong)旋(xuan)转式变容(rong)真空泵须有前(qian)级泵配合方可使用在较宽的压力(li)范(fan)围内有较大的抽速对(dui)被(bei)抽除气体中含(han)有灰尘和水(shui)蒸汽不敏(min)感(gan)广泛用于冶(ye)金、化工、食(shi)品(pin)、电子(zi)镀膜等行业(ye)。[1]

2 特点

(1)在较宽的(de)压力范围(wei)内有(you)较大(da)的(de)抽速(su)；

(2)转(zhuan)子(zi)具有良好的几何(he)对称性，故振动小(xiao)，运转(zhuan)平(ping)稳。转(zhuan)子(zi)间(jian)及转(zhuan)子(zi)和壳体间(jian)均有间(jian)隙，不用润(run)滑，摩擦损失小(xiao)，可大大降低驱动功率，从而可实现(xian)较高转(zhuan)速；

(3)泵(beng)腔内无需用油密封和(he)润(run)滑，可减少油蒸气对真(zhen)空系统的污染；

(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑(cou)，对被抽气体中的(de)灰尘和水蒸汽不敏(min)感；

(5)压(ya)缩比较低，对氢气抽气效果(guo)差(cha)；

(6)转子表面(mian)为形状较(jiao)为复杂的曲线柱(zhu)面(mian)，加(jia)工和检查比较(jiao)困难。

3 结构

（1） 泵总(zong)体结构型式

真(zhen)空(kong)泵(beng)的泵(beng)体(ti)的布置结构决定了泵(beng)的总体(ti)结构。

立式(shi)结构的(de)进、排气口水平设置，装配和连(lian)接管路都比较(jiao)方便(bian)。但(dan)泵的(de)重心较(jiao)高，在(zai)高速运转时稳定性差，故这种型式(shi)多用于小泵。

卧式(shi)泵的(de)进气(qi)(qi)(qi)口(kou)(kou)在(zai)上，排(pai)(pai)(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)(kou)在(zai)下。有时(shi)为了真空系统(tong)管道(dao)安装连接方(fang)便，可(ke)将排(pai)(pai)(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)(kou)从(cong)水平方(fang)向接出，即(ji)进、排(pai)(pai)(pai)气(qi)(qi)(qi)方(fang)向是相(xiang)互垂(chui)直的(de)。此时(shi)，排(pai)(pai)(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)(kou)可(ke)以从(cong)左(zuo)或右两(liang)个方(fang)向开口(kou)(kou)，除接排(pai)(pai)(pai)气(qi)(qi)(qi)管道(dao)一(yi)端外，另(ling)一(yi)端堵死或接旁通阀。这(zhei)种(zhong)泵结(jie)构(gou)重心低，高速(su)运转时(shi)稳定性好。一(yi)般大、中型泵多采(cai)用此种(zhong)结(jie)构(gou)。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装(zhuang)。这种结(jie)构(gou)装(zhuang)配间隙(xi)容(rong)易控制，转子装(zhuang)配方便(bian)，泵占地面积(ji)小(xiao)。但泵重(zhong)心较高且(qie)齿轮(lun)拆(chai)装(zhuang)不便(bian)，润滑(hua)机构(gou)也相对复杂。

（2） 泵的传动方式(shi)

真空(kong)泵的(de)(de)(de)(de)两(liang)个(ge)转(zhuan)(zhuan)子是(shi)通过(guo)一(yi)对高精度齿轮来(lai)实(shi)现(xian)其相对同(tong)步运(yun)转(zhuan)(zhuan)的(de)(de)(de)(de)。主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)通过(guo)联轴(zhou)(zhou)器与(yu)(yu)电机联接(jie)。在传动(dong)(dong)结构布置上(shang)主(zhu)(zhu)要有以下两(liang)种：其一(yi)是(shi)电动(dong)(dong)机与(yu)(yu)齿轮放(fang)在转(zhuan)(zhuan)子的(de)(de)(de)(de)同(tong)一(yi)侧如图。从动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子由电动(dong)(dong)机端齿轮直接(jie)传过(guo)去带动(dong)(dong)，这样主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子轴(zhou)(zhou)的(de)(de)(de)(de)扭(niu)(niu)转(zhuan)(zhuan)变形小(xiao)，则两(liang)个(ge)转(zhuan)(zhuan)子之间的(de)(de)(de)(de)间隙(xi)不会因主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)的(de)(de)(de)(de)扭(niu)(niu)转(zhuan)(zhuan)变形大而改变，故使转(zhuan)(zhuan)子之间的(de)(de)(de)(de)间隙(xi)在运(yun)转(zhuan)(zhuan)过(guo)程(cheng)中均(jun)匀。这种传动(dong)(dong)方式的(de)(de)(de)(de)最大缺点是(shi)：a.主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)上(shang)有三个(ge)轴(zhou)(zhou)承(cheng)，增(zeng)加(jia)了(le)泵的(de)(de)(de)(de)加(jia)工和(he)装(zhuang)配难度，齿轮的(de)(de)(de)(de)拆装(zhuang)及调整(zheng)也不便；b.整(zheng)体结构不匀称，泵的(de)(de)(de)(de)重(zhong)心偏向电动(dong)(dong)机和(he)齿轮箱一(yi)侧。

    极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)一(yi)个(ge)(ge)重(zhong)要参数，是反应泵(beng)抽(chou)(chou)气(qi)(qi)能力(li)的(de)(de)特性值(zhi)，是与真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)相关(guan)的(de)(de)一(yi)个(ge)(ge)数值(zhi)，不(bu)同的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)可以有不(bu)同的(de)(de)“极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”度。而“理(li)论真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是理(li)论研究时(shi)的(de)(de)一(yi)个(ge)(ge)概念，是排(pai)除各种实(shi)际因素(su)的(de)(de)影响而提炼出的(de)(de)一(yi)种最理(li)想的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容(rong)器经(jing)充分抽(chou)(chou)气(qi)(qi)后(hou)，稳定(ding)在某一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度称为极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。通(tong)常真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容(rong)器须经(jing)12小时(shi)炼气(qi)(qi)，再经(jing)12小时(shi)抽(chou)(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)个(ge)(ge)小时(shi)每隔10分钟测量一(yi)次(ci)，取其10次(ci)的(de)(de)平均(jun)值(zhi)为极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)值(zhi)。